Hiệu suất bịt kín là một khía cạnh quan trọng trong việc thiết kế thiết bị phủ chân không, vì chất lượng của nó ảnh hưởng trực tiếp đến việc liệu mức độ chân không cần thiết cho lớp phủ có thể đạt được trong quá trình hút bụi tiếp theo hay không. Nếu yêu cầu này không được đáp ứng, nó sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến sự hình thành và chất lượng của màng. Để đảm bảo hiệu suất bịt kín tốt của các thiết bị hoặc hệ thống phủ chân không, việc xác định vị trí và chặn rò rỉ sau khi lắp đặt là chưa đủ. Cần tiến hành phát hiện rò rỉ chân không ở tất cả các giai đoạn thiết kế, sản xuất, vận hành và sử dụng thiết bị hoặc hệ thống phủ chân không.
Cân nhắc thiết kế choMáy phủ chân không
1. Xác định tổng tốc độ rò rỉ tối đa cho phép của thiết bị chân không dựa trên yêu cầu của quy trình, sau đó xác định tốc độ rò rỉ tối đa cho phép của từng bộ phận dựa trên tổng tốc độ rò rỉ này.
2. Dựa trên tốc độ rò rỉ tối đa cho phép và các chỉ số khác của thiết bị, xác định sơ bộ các phương pháp phát hiện rò rỉ sẽ được sử dụng trong giai đoạn thiết kế và sử dụng phương pháp này như một trong những nguyên tắc cơ bản hướng dẫn vận hành và nghiệm thu.
3. Dựa trên các chỉ số tốc độ rò rỉ tối đa cho phép của thiết bị hoặc linh kiện, xác định phương pháp bịt kín và kết nối cũng như độ chính xác gia công tổng thể của thiết bị, cũng như loại niêm phong động nào có thể đáp ứng yêu cầu. Ví dụ, nên sử dụng con dấu kim loại hay con dấu cao su cho mặt bích.
4. Khi thiết kế độ bền kết cấu của thùng chứa, hãy xem xét khả năng chịu áp lực và độ bền kết cấu cần thiết cho bộ phận được thử nghiệm nếu sử dụng phương pháp phát hiện rò rỉ áp suất.
5. Khi lựa chọn vật liệu kết cấu cho các bộ phận, hãy cân nhắc xem liệu có sử dụng vật liệu có thể bị ăn mòn và hư hỏng bởi môi trường làm việc và khí kiểm tra rò rỉ- hay không.
6. Trong quá trình thiết kế kết cấu, phải cung cấp các giao diện dự phòng cần thiết cho các thiết bị phát hiện rò rỉ trên thùng chứa hoặc hệ thống để sử dụng trong quá trình lắp ráp và vận hành thiết bị. Đặc biệt đối với các hệ thống đường ống lớn và phức tạp, thường cần đến các phương pháp phát hiện rò rỉ theo từng đoạn; do đó, các van cách ly phân đoạn phải được lắp đặt trên đường ống và các giao diện của thiết bị phát hiện rò rỉ phải được dành riêng trên mỗi phân đoạn cách ly.
7. Khi thiết kế các bộ phận kết cấu, tránh các sơ đồ thiết kế có thể cản trở việc phát hiện rò rỉ. Ví dụ, không nên sử dụng lỗ mù cho các lỗ vít trong buồng chân không, vì sau khi lắp vít, khí trong khoảng trống còn lại bên trong lỗ vít chỉ có thể thoát ra ngoài qua khe ren, tạo thành rò rỉ giả. Điều này kéo dài thời gian sơ tán hệ thống và cản trở việc phát hiện rò rỉ thông thường. Xem sơ đồ để biết các cấu trúc không nên xuất hiện khi phát hiện rò rỉ chân không.
8. Tương tự, không được phép có các mối hàn-hai mặt liên tục và cấu trúc vòng đệm nhiều-lớp trong thiết kế kết cấu vì chúng sẽ tạo ra "khối ký sinh" ở giữa, khiến khí bên trong bị rò rỉ. Hơn nữa, khi cả mối hàn bên trong và bên ngoài hoặc vòng đệm bị rò rỉ đồng thời, "khối lượng ký sinh" khiến thời gian phản ứng để khí rò rỉ đi qua mối hàn hai lớp quá lâu, khiến cho việc phát hiện rò rỉ thông thường là không thể.
9. Trong thiết kế các kết cấu hàn, hãy giảm thiểu số lượng mối hàn không thể phát hiện được rò rỉ sau khi lắp ráp lần cuối.
Các điểm trên là biện pháp phòng ngừa để phát hiện rò rỉ trong thiết bị phủ chân không. Chất lượng của hiệu suất niêm phong trực tiếp quyết định liệu thiết bị có thể được chấp nhận thành công hay không và chất lượng của nó có đáp ứng các tiêu chuẩn hay không.
