Thiết bị phun Magnetron chủ yếu bao gồm các phần sau:
1. Vật liệu mục tiêu: Thành phần cốt lõi của thiết bị phun từ tính, thường được làm bằng kim loại, hợp kim và các vật liệu khác.
2. Phòng chân không: Môi trường vận hành của thiết bị phun từ tính cần được thực hiện trong điều kiện chân không cao và buồng chân không đóng vai trò duy trì chân không.
3. Hệ thống Magnetron: Từ trường được sử dụng để kiểm soát sự bắn phá ion trên bề mặt của vật liệu mục tiêu để gây ra sự phóng xạ.
4. Khung cơ chất: Được sử dụng để hỗ trợ vật liệu cơ chất được xử lý.
5. Hệ thống sưởi ấm: Trong một số trường hợp, vật liệu mục tiêu và chất nền cần được làm nóng để kiểm soát quá trình phun.
