Công nghệ phủ bay hơi cảm ứng tần số cao-thường được sử dụng để phủ các vật liệu màng mỏng linh hoạt. Nó có hiệu quả cao, tạo ra các lớp màng đồng nhất và không tạo ra giọt nước. Nó thường được sử dụng trong lĩnh vực dây vàng và bạc và thường được gọi là thiết bị phủ chân không cuộn dây bay hơi cảm ứng tần số cao.
Nguồn bay hơi cảm ứng tần số cao-đặt một nồi nấu kim loại bằng than chì hoặc gốm chứa vật liệu bay hơi vào giữa một cuộn dây xoắn ốc tần số cao-làm mát bằng nước. Dưới sự cảm ứng của từ trường trong dải tần số-cao, vật liệu bay hơi tạo ra tổn thất dòng điện xoáy mạnh và tổn thất trễ (đối với vật liệu sắt từ), khiến vật liệu nóng lên cho đến khi bốc hơi. Thể tích của vật liệu màng càng nhỏ thì tần số cảm ứng càng cao. Trong thiết bị-quy mô lớn để mạ nhôm chân không liên tục trên các dải thép, quy trình bay hơi nhiệt cảm ứng tần số cao- đã đạt được kết quả khả quan.
Đặc điểm của nguồn bay hơi cảm ứng tần số cao-:
1) Tốc độ bay hơi cao, nhanh hơn khoảng 10 lần so với nguồn bay hơi kháng;
2) Nhiệt độ đồng đều và ổn định, ít bị bắn tung tóe;
3) Khi vật liệu bay hơi là kim loại, nó sẽ sinh nhiệt;
4) Tải-một lần giúp loại bỏ nhu cầu về cơ chế cấp liệu, giúp việc kiểm soát nhiệt độ dễ dàng hơn và vận hành đơn giản hơn.
Công nghệ phủ bay hơi cảm ứng tần số cao- là một loại lớp phủ bay hơi và các phương pháp phủ bay hơi khác nhau được sử dụng tùy thuộc vào lĩnh vực ứng dụng. Thiết bị phủ chân không cuộn-cảm ứng bay hơi tần số cao-đến{4}}cuộn chủ yếu là công nghệ phủ và thiết bị để chuẩn bị cuộn-để-cuộn các vật liệu màng mỏng.
