Các yêu cầu cơ bản đối với khí thải chân không thấp của máy phủ chân không là áp suất hoạt động cao và thể tích không khí lớn, nhưng các yêu cầu về tốc độ bơm không tốt bằng các đơn vị chân không cao. Do đó, kiệt sức chân không thấp của máy phủ thường được sử dụng làm buồng chân không thô. Máy bơm chân không thấp thường áp dụng bơm rễ, bơm hấp phụ sàng phân tử, bơm phản lực hơi nước dầu, bơm phản lực hơi nước, bơm vòng nước, bơm đối ứng, bơm niêm phong dầu, vv Các máy bơm khác có thể được thải ra trực tiếp vào khí quyển.
Ưu điểm là nó có thể bảo vệ máy bơm cơ học, nhưng nhược điểm là nó làm giảm tốc độ bơm hiệu quả của máy bơm, làm tăng ngân sách kinh tế của thiết bị và cản trở việc bảo trì thiết bị. Hiện tại, có hai loại bộ thu bụi trên thị trường: Bộ thu bụi thô (Bộ thu bụi kim loại, Bộ thu bụi lốc xoáy) và Bộ thu bụi mịn (Bộ thu bụi màng dầu và bộ thu bụi sương mù).
1. Loại bỏ bụi thô (Bộ thu bụi kim loại)
Phiên bản cơ bản của bộ thu bụi kim loại là bộ lọc chip thép, có cấu trúc tương đối đơn giản. Nó là một thiết bị đơn giản đặt chip cắt kim loại vào túi lưới. Được cài đặt ở đầu ra của ống của buồng chân không lớp phủ, thật dễ dàng để lấy ra và đẩy. Kích thước của bộ thu bụi này thường là 20-60 cm. Nguyên tắc làm việc của nó là dựa vào hiệu ứng rào cản cơ học của chip, có thể loại bỏ một số hạt lớn hơn trong bụi, và cũng có hiệu ứng làm mát nhất định. Trong thiết bị loại bỏ bụi lưới kim loại được cải thiện sau này, một phần của dầu bơm được lắp đặt trong hồ chứa dầu, do đó hầu hết các hạt bụi trong luồng không khí có thể được loại bỏ trong dầu và các hạt bụi không được gắn vào bề mặt dầu được loại bỏ bằng lưới kim loại.
2. Loại bỏ bụi tốt (Bộ thu bụi màng dầu)
Xi lanh của máy phủ chân không được trang bị cơ hoành kim loại nhiều lớp với các lỗ, và màng chắn được trang bị vòng kim loại hoặc gốm. Xi lanh được trang bị vòi phun dầu với bơm dầu tuần hoàn, để bụi có thể được gắn vào màng dầu khi luồng không khí đi qua. Nó không chỉ có khả năng loại bỏ bụi tốt, mà còn có hiệu ứng làm mát khí tốt.
