Mặc dù có nhiều loại nguồn ion nhưng mục đích của chúng về cơ bản là giống nhau: làm sạch trực tuyến, cải thiện sự phân bổ năng lượng trên bề mặt mạ và điều chỉnh năng lượng của khí phản ứng. Nguồn ion có thể cải thiện đáng kể độ bền liên kết giữa màng và chất nền, đồng thời cải thiện độ cứng và khả năng chống mài mòn và ăn mòn của màng. Đối với các lớp chống mài mòn-của dụng cụ thường dày hơn và không yêu cầu độ đồng đều cao về độ dày màng, có thể sử dụng nguồn ion có dòng ion và mức năng lượng cao hơn, chẳng hạn như nguồn ion Hall hoặc nguồn ion anolyte.
Nguồn ion anốt hoạt động theo nguyên tắc tương tự như nguồn ion Hall. Một từ trường mạnh được đặt vào trong một khe hình khuyên hẹp (hình chữ nhật hoặc hình tròn), làm ion hóa khí làm việc dưới tác động của cực dương và hướng nó về phía phôi. Nguồn ion anốt có thể được tạo ra rất lớn và dài, khiến chúng đặc biệt thích hợp để phủ các vật liệu lớn, chẳng hạn như kính kiến trúc. Họ cũng cung cấp dòng ion tương đối lớn. Tuy nhiên, dòng ion của chúng khuếch tán nhiều hơn và sự phân bố mức năng lượng quá rộng. Chúng thường thích hợp cho các phôi lớn, kính, bề mặt mài mòn và các bộ phận trang trí. Tuy nhiên, ứng dụng của chúng trong các lớp phủ quang học tiên tiến không được phổ biến rộng rãi.
Mặc dù có nhiều loại nguồn ion nhưng mục đích của chúng về cơ bản là giống nhau: làm sạch trực tuyến, cải thiện sự phân bổ năng lượng trên bề mặt mạ và điều chỉnh năng lượng của khí phản ứng. Nguồn ion có thể cải thiện đáng kể độ bền liên kết giữa màng và chất nền, đồng thời cải thiện độ cứng và khả năng chống mài mòn và ăn mòn của màng. Đối với các lớp chống mài mòn-của dụng cụ thường dày hơn và không yêu cầu độ đồng đều cao về độ dày màng, có thể sử dụng nguồn ion có dòng ion và mức năng lượng cao hơn, chẳng hạn như nguồn ion Hall hoặc nguồn ion anolyte.
Nguồn ion anốt hoạt động theo nguyên tắc tương tự như nguồn ion Hall. Một từ trường mạnh được đặt vào trong một khe hình khuyên hẹp (hình chữ nhật hoặc hình tròn), làm ion hóa khí làm việc dưới tác động của cực dương và hướng nó về phía phôi. Nguồn ion anốt có thể được tạo ra rất lớn và dài, khiến chúng đặc biệt thích hợp để phủ các vật liệu lớn, chẳng hạn như kính kiến trúc. Họ cũng cung cấp dòng ion tương đối lớn. Tuy nhiên, dòng ion của chúng khuếch tán nhiều hơn và sự phân bố mức năng lượng quá rộng. Chúng thường thích hợp cho các phôi lớn, kính, bề mặt mài mòn và các bộ phận trang trí. Tuy nhiên, ứng dụng của chúng trong các lớp phủ quang học tiên tiến không được phổ biến rộng rãi.
Nguồn ion Hall trongmáy sơn chân khôngion hóa khí xử lý dưới sự hỗ trợ của từ trường hướng trục mạnh. Sự mất cân bằng mạnh mẽ của từ trường dọc trục này sẽ tách các ion khí và tạo thành chùm ion. Do cường độ của từ trường hướng trục nên chùm ion nguồn ion Hall cần thêm electron để trung hòa dòng ion. Nguồn trung hòa phổ biến là dây tóc vonfram (cực âm).
