1. Điều kiện môi trường tiêu chuẩn: Nhiệt độ 20 độ, độ ẩm tương đối 65%, áp suất khí quyển 101325 Pa.
2. Trạng thái tiêu chuẩn của khí: Nhiệt độ 0 độ, áp suất 101325 Pa.
3. Áp suất (cường độ): Tốc độ thay đổi động lượng của các phân tử khí đi qua một mặt phẳng ảo dọc theo phương pháp tuyến dương của mặt phẳng đó chia cho diện tích của mặt phẳng đó; hoặc thành phần thông thường của lực tác dụng bởi các phân tử khí lên bề mặt vật chứa nó, chia cho diện tích bề mặt.
4. Pascal (ký hiệu: Pa): Đơn vị đo áp suất trong hệ SI, 1 Pa=1 N/m².
5. Áp suất riêng phần: Áp suất của một thành phần cụ thể trong hỗn hợp khí.
6. Áp suất tổng: Tổng áp suất của tất cả các thành phần trong hỗn hợp khí.
7. Chân không: Trạng thái khí dưới một áp suất khí quyển trong một không gian xác định.
8. Độ chân không: Độ hiếm của khí trong điều kiện chân không, thường được biểu thị bằng giá trị áp suất.
9. Khí: Một chất không bị ràng buộc bởi các lực liên phân tử và có thể tự do chiếm giữ bất kỳ không gian nào. (Lưu ý: Trong công nghệ chân không, thuật ngữ "khí" không được áp dụng nghiêm ngặt cho các-khí và hơi không ngưng tụ được.)
10. Khí-không thể ngưng tụ: Một loại khí trên nhiệt độ tới hạn, tức là một loại khí không thể hóa lỏng chỉ bằng cách tăng áp suất.
11. Hơi nước: Một loại khí ở dưới nhiệt độ tới hạn, nghĩa là một loại khí có thể hóa lỏng chỉ bằng cách tăng áp suất của nó.
12. Áp suất hơi bão hòa: Áp suất hơi bão hòa của một chất ở nhiệt độ nhất định khi hơi và pha ngưng tụ của nó cân bằng pha.
13. Độ bão hòa: Tỷ lệ áp suất hơi với áp suất hơi bão hòa.
14. Hơi bão hòa: Hơi nước ở nhiệt độ nhất định có áp suất bằng áp suất hơi bão hòa.
15. Hơi nước không bão hòa: Hơi nước ở nhiệt độ nhất định có áp suất nhỏ hơn áp suất hơi bão hòa.
16. Mật độ số phân tử (đơn vị: m⁻³): Số lượng phân tử trong thể tích bao quanh một điểm trong chất khí tại một thời điểm nhất định, chia cho sản phẩm.
17. Đường đi tự do trung bình: Khoảng cách mà một phân tử di chuyển trong hai lần va chạm liên tiếp với các phân tử khí khác được gọi là đường đi tự do. Giá trị trung bình của một số lượng đáng kể các đường tự do khác nhau được gọi là đường tự do trung bình.
18. Tốc độ va chạm: Số lần va chạm trung bình mà một phân tử (hoặc hạt được xác định khác) trải qua so với các phân tử khí khác (hoặc các hạt được xác định khác) trong một khoảng thời gian nhất định, chia cho thời gian đó. Số va chạm trung bình này phải đạt được với số lượng phân tử đủ lớn và khoảng thời gian đủ dài.
19. Tốc độ va chạm thể tích: Số va chạm trung bình giữa các phân tử khí trong một phạm vi không gian xung quanh một điểm xác định trong một khoảng thời gian nhất định, chia cho thời gian đó và thể tích của phạm vi không gian đó. Khoảng thời gian và âm lượng không được quá nhỏ.
20. Lượng khí: Tích của thể tích chiếm bởi một loại khí lý tưởng ở trạng thái cân bằng và áp suất của nó. Giá trị này phải xác định nhiệt độ khí hoặc được chuyển đổi thành giá trị ở 20 độ. (Lưu ý: Lượng khí ám chỉ 2/3 nội năng (hay thế năng) của khí trong thể tích mà lượng khí đó chiếm giữ.)
21. Khuếch tán khí: Sự chuyển động của khí trong môi trường khác do gradient nồng độ. Môi trường có thể là một loại khí khác (trong trường hợp đó sự khuếch tán được gọi là sự khuếch tán xen kẽ) hoặc một chất có thể ngưng tụ.
22. Hệ thống khuếch tán: Tỷ lệ giữa giá trị tuyệt đối của tốc độ khối lượng trên một đơn vị diện tích với gradient nồng độ bình thường trên một đơn vị diện tích.
23. Dòng chảy nhớt: Trạng thái dòng chảy trong đó đường đi tự do trung bình của các phân tử khí nhỏ hơn nhiều so với kích thước mặt cắt ngang tối thiểu-của ống dẫn. Do đó, dòng chảy phụ thuộc vào độ nhớt của khí; dòng chảy nhớt có thể là tầng hoặc tầng.
24. Hệ số nhớt: Tỷ số của lực tiếp tuyến trên một đơn vị diện tích theo hướng gradient vận tốc khí và gradient vận tốc.
25. Dòng chảy Poisson: Dòng chảy nhớt-dọc qua một ống dẫn dài có tiết diện-hình tròn.
26. Dòng trung gian: Dòng khí đi qua ống dẫn ở trạng thái giữa dòng phân tử và dòng tầng.
27. Dòng phân tử: Dòng chảy trong đó đường đi tự do trung bình của các phân tử khí lớn hơn nhiều so với diện tích mặt cắt ngang tối đa-của ống dẫn.
28. Số Knuth: Tỷ số giữa quãng đường tự do trung bình của các phân tử khí trên đường kính của ống dẫn.
29. Tràn tràn phân tử: Dòng chảy khi khí chảy qua một lỗ có thành mỏng, trong đó đường đi tự do trung bình của các phân tử lớn hơn nhiều so với kích thước lỗ.
30. Thoát: Dòng khí đi qua vật liệu xốp do chênh lệch áp suất.
31. Thoát nhiệt: Trong dòng phân tử, dòng khí xảy ra giữa hai thùng chứa được kết nối do chênh lệch nhiệt độ. Khi vận chuyển khí đạt đến trạng thái cân bằng, một gradient áp suất hình thành giữa hai thùng chứa.
32. Tốc độ dòng phân tử: Sự chênh lệch giữa số lượng phân tử đi qua bề mặt theo một hướng nhất định và số lượng phân tử đi qua bề mặt theo hướng ngược lại trong một khoảng thời gian nhất định, chia cho thời gian.
33. Mật độ tốc độ dòng phân tử: Tốc độ dòng phân tử chia cho diện tích bề mặt.
34. Tốc độ dòng khối: Khối lượng khí đi qua một mặt cắt-trong một khoảng thời gian nhất định, chia cho thời gian.
35. Tốc độ dòng chảy: Lượng khí đi qua một mặt cắt-trong một khoảng thời gian nhất định chia cho thời gian.
36. Tốc độ dòng thể tích: Thể tích khí đi qua một mặt cắt-trong các điều kiện nhiệt độ, áp suất và khoảng thời gian nhất định, chia cho thời gian đó.
37. Số mol khí đi qua một mặt cắt-nhất định trong một khoảng thời gian nhất định chia cho thời gian đó.
38. Phân bố vận tốc Maxwell: Phân bố vận tốc được xác định bởi hàm phân phối vận tốc Maxwell-Boltzmann. Nghĩa là, sự phân bố vận tốc của các phân tử khí ở trạng thái cân bằng ở một nhiệt độ nhất định và khi khoảng cách đến thành bình chứa lớn hơn quãng đường tự do trung bình của các phân tử.
39. Xác suất vận chuyển: Xác suất mà các phân tử ngẫu nhiên đi vào đầu vào của ống dẫn sẽ thoát ra qua đầu ra.
40. Độ dẫn điện phân tử: Độ dẫn điện phân tử của khí chảy qua hai mặt cắt ngang hoặc hai lỗ cụ thể của một đường ống, được biểu thị bằng tỷ lệ giữa tốc độ dòng phân tử của nó với chênh lệch mật độ số lượng phân tử trung bình giữa hai mặt cắt ngang hoặc hai lỗ của đường ống.
41. Độ dẫn điện: Trong điều kiện đẳng nhiệt, tỷ lệ giữa tốc độ dòng khí qua ống dẫn hoặc lỗ với chênh lệch áp suất trung bình trên hai mặt cắt xác định của ống dẫn hoặc lỗ.
42. Độ dẫn điện nội tại: Trong các điều kiện mà sự phân bố vận tốc Maxwell chiếm ưu thế trong một thùng chứa, độ dẫn điện của ống dẫn (hoặc lỗ) nối hai thùng chứa đó. Trong điều kiện dòng phân tử, nó bằng tích của độ dẫn đầu vào và xác suất vận chuyển.
43. Khả năng chống dòng chảy: Sự nghịch đảo của độ dẫn điện.
44. Hấp phụ: Sự thu giữ khí hoặc hơi (chất hấp phụ) bằng chất rắn hoặc chất lỏng (chất hấp phụ).
45. Hấp phụ bề mặt: Sự hấp phụ khí hoặc hơi (chất hấp phụ) lên bề mặt chất rắn hoặc chất lỏng (chất hấp phụ).
46. Hấp phụ vật lý: Hấp phụ do các quá trình vật lý.
47. Hấp phụ hóa học: Hấp phụ do các quá trình hóa học.
48. Hấp thụ: Sự khuếch tán khí hoặc hơi (chất hấp phụ) vào bên trong chất rắn hoặc chất lỏng (chất hấp phụ).
49. Hệ số phù hợp: Tỷ lệ giữa năng lượng trung bình thực sự trao đổi giữa một hạt tới trên bề mặt và bề mặt với năng lượng trung bình mà hạt phải trao đổi để đạt được trạng thái cân bằng nhiệt hoàn toàn trên bề mặt.
50. Tỷ lệ sự cố: Số lượng phân tử xảy ra trên một bề mặt trong một khoảng thời gian nhất định, chia cho thời gian đó và diện tích bề mặt.50. Tỷ lệ sự cố: Số lượng phân tử xảy ra trên một bề mặt trong một khoảng thời gian nhất định, chia cho thời gian đó và diện tích bề mặt.
51. Tốc độ ngưng tụ: Số lượng phân tử (hoặc khối lượng vật chất) ngưng tụ trên một diện tích bề mặt nhất định trong một khoảng thời gian nhất định, chia cho thời gian đó và diện tích bề mặt đó.
52. Tốc độ bám dính: Số lượng phân tử được hấp phụ trên một bề mặt trong một khoảng thời gian nhất định, chia cho thời gian đó và diện tích bề mặt đó.
53. Xác suất bám dính: Tỷ lệ giữa tỷ lệ bám dính và tỷ lệ sự cố.
54. Thời gian lưu trú: Thời gian trung bình một phân tử bị giam giữ ở trạng thái hấp phụ trên bề mặt.
55. Di chuyển: Sự chuyển động của các phân tử trên bề mặt.
56. Giải hấp: Sự giải phóng khí hoặc hơi bị hấp phụ bởi vật liệu. Sự giải phóng có thể là tự nhiên hoặc được tăng tốc bằng các phương pháp vật lý.
57. Khử khí: Sự giải hấp nhân tạo khí từ vật liệu.
58. Khử khí: Sự giải hấp tự nhiên của khí từ vật liệu.
59. Tốc độ giải hấp, khử khí hoặc loại bỏ khí: Tốc độ dòng (hoặc tốc độ dòng phân tử) của khí được giải hấp (hoặc khử khí) khỏi vật liệu trong một khoảng thời gian nhất định, chia cho thời gian đó và diện tích bề mặt đó.
60. Tốc độ bay hơi: Số lượng phân tử (hoặc khối lượng vật chất) bay hơi khỏi bề mặt trong một khoảng thời gian nhất định, chia cho thời gian đó và diện tích bề mặt đó.
61. Sự thẩm thấu: Hiện tượng khí đi qua một lớp rào chắn rắn. Hiện tượng này bao gồm sự khuếch tán khí qua chất rắn và cũng có thể bao gồm các hiện tượng bề mặt khác.
62. Tính thấm: Trong điều kiện dòng chảy ổn định, tốc độ dòng khí qua một lớp chắn (chẳng hạn như thành bình) chia cho hàm số của áp suất ở cả hai phía của lớp chắn. Hình thức của chức năng này phụ thuộc vào các quá trình vật lý liên quan đến quá trình thẩm thấu thực tế.
63. Hệ số thấm: Tích số của độ thấm và độ dày lớp rào chắn chia cho diện tích bề mặt thấm.
Trên đây là bản tóm tắt chungthiết bị sơn chân khôngthuật ngữ ngành. Chúng tôi hy vọng thông tin này hữu ích vì việc nắm vững các thuật ngữ này là điều cần thiết để tham gia vào ngành chân không.
