Máy phủ phún xạ Magnetron

Bên trong buồng chân không, từ trường được sử dụng để hạn chế sự phóng điện phát sáng, khiến các ion argon bắn phá vật liệu mục tiêu ở tốc độ cao, các nguyên tử mục tiêu bị bắn ra và lắng đọng trên bề mặt phôi để tạo thành một màng mỏng dày đặc-một quá trình được phân loại là Lắng đọng hơi vật lý (PVD).

Tính năng thiết bị

Tương thích với nhiều loại mục tiêu phún xạ
Hỗ trợ các mục tiêu phún xạ từ DC, MF và RF, chứa cả mục tiêu gốm kim loại và gốm oxit, cho phép lắng đọng cả màng điện môi kim loại và cách điện.

Cơ chế quay và xoay cơ chất
Giá phôi sử dụng hệ thống quay hành tinh, cho phép các phôi bên trong lò quay và quay đồng thời, điều này đảm bảo độ đồng đều độ dày màng tuyệt vời trên toàn bộ tải lò và giảm thiểu sự biến đổi màu sắc.

Hệ thống xử lý sơ bộ ion nhiệt độ-thấp{1}}
Được trang bị nguồn làm sạch ion-tích hợp, hệ thống sẽ bắn plasma lên bề mặt phôi trước khi phủ để loại bỏ các chất ô nhiễm dầu và các lớp oxit. Nó cho phép lắng đọng màng ở nhiệt độ thấp-với lượng nhiệt nền tối thiểu, giúp nó phù hợp để xử lý các loại nhựa nhạy cảm với nhiệt-như ABS và PC mà không gây cháy hoặc biến dạng.

Cấu hình đơn vị chân không độc lập
Sự kết hợp giữa bơm turbo phân tử, bơm Roots và bơm cánh gạt quay, đảm bảo đường cong bơm ổn định.

Hệ thống điều khiển công nghiệp PLC hoàn toàn tự động
Tự động hóa quy trình, công thức quy trình có thể được lưu trữ và gọi lại chỉ bằng một cú nhấp chuột.

Kiểm soát lưu lượng khí chính xác
Sử dụng nhiều Bộ điều khiển dòng khối (MFC) để điều chỉnh chính xác các khí phản ứng như argon, oxy và nitơ, làm cho nó phù hợp cho quá trình lắng đọng phún xạ phản ứng của màng hỗn hợp oxit và nitrit.

Bảo vệ khóa liên động an toàn
Bao gồm khóa liên động cho cửa buồng và hệ thống chân không, cũng như các biện pháp bảo vệ chống quá tải, thiếu nước và mất điện, tự động tắt khi phát hiện sự bất thường để bảo vệ nguồn mục tiêu và hệ thống chân không.

Lớp phủ trang trí
Vỏ đồng hồ, phần cứng phòng tắm, đầu gậy đánh gôn, đồ thủ công, đồ chơi, đèn phản quang ô tô, vỏ và nút bấm của điện thoại di động hoặc thiết bị gia dụng. Có khả năng sản xuất các lớp phủ trang trí giả vàng, đen gunmetal, siêu-đen và màu, đóng vai trò như một giải pháp thay thế-thân thiện với môi trường, không gây ô nhiễm-cho mạ điện truyền thống bằng nước{4}}.

Chất nền tương thích: Nhựa ABS, thủy tinh, gốm sứ, gạch lát và các kim loại khác nhau.

 

Phim chức năng
Khuôn mẫu và Dụng cụ: Lớp phủ bảo vệ chống mài mòn-cho dụng cụ cắt và khuôn/khuôn

Độ dày màng có thể kiểm soát được và có thể lặp lại.

Nó có thể tạo ra một lớp màng có độ dày xác định trước một cách đáng tin cậy và lớp phủ phún xạ có thể thu được độ dày màng đồng đều trên một bề mặt lớn.

Bộ phim có độ bám dính mạnh mẽ với chất nền.

Một số nguyên tử-năng lượng cao được phun ra tạo ra các mức độ phun khác nhau, tạo thành một lớp-khuếch tán giả trên chất nền nơi các nguyên tử được phún xạ và nguyên tử chất nền hợp nhất với nhau.

Chế tạo màng mỏng từ vật liệu đặc biệt.

Màng hỗn hợp và màng phức hợp có thể được điều chế bằng cách phun các vật liệu khác nhau cùng một lúc. Màng vàng giả TiN cũng có thể được phun ra.

Màng có độ tinh khiết cao và màng phún xạ sẽ không bị trộn lẫn với các thành phần của vật liệu gia nhiệt nồi nấu kim loại.

Được trang bị nguồn phụ trợ ion nhiệt độ thấp, nó có thể tạo thành màng bằng cách mạ lạnh ở nhiệt độ phòng mà không cần sưởi ấm, tiết kiệm năng lượng và điện cũng như nâng cao năng lực sản xuất.