Nguyên tắc hoạt động:
Máy phủ đa arc là một thiết bị sử dụng nguyên tắc xả hồ quang chân không để làm bay hơi và ion hóa mục tiêu catốt (vật liệu nguồn) trong môi trường chân không và đặt nó trên bề mặt của phôi để tạo thành một màng mỏng.
Ứng dụng:
- Cải thiện hiệu suất và tuổi thọ của các công cụ, máy cắt và khuôn (lớp phủ cứng)
- Cung cấp các bề mặt trang trí thẩm mỹ, bền bỉ, thân thiện với môi trường (lớp phủ trang trí)
- Cải thiện khả năng chống mài mòn, giảm ma sát và khả năng chống ăn mòn của các bộ phận cơ học (lớp phủ chức năng)
Đặc trưng:
Tốc độ ion hóa cao:
Liên kết cơ sở phim tuyệt vời, cấu trúc dày đặc tuyệt vời và hiệu suất tốt.
Sự bắn phá ion năng lượng cao:
Giúp hình thành màng dày đặc, liên kết mạnh mẽ và có thể được lắng đọng ở nhiệt độ thấp hơn.
Tỷ lệ lắng đọng cao:
So với các công nghệ PVD khác, mạ đa ARC thường có tỷ lệ lắng đọng cao hơn.
Thích hợp cho lớp phủ cứng:
Nó đặc biệt tốt trong việc lắng đọng các nitride kim loại, cacbua, oxit và các lớp phủ siêu cứng, chống mài mòn và chống ăn mòn khác (như thiếc, CRN, Tialn, DLC, v.v.), và được sử dụng rộng rãi trong các dụng cụ, khuôn, các bộ phận chống mài mòn, lớp trang trí và các lớp trang trí.
Đặc điểm kỹ thuật:
| Máy phủ đa arc | |||||||
|
Người mẫu |
HL-600 |
HL-800 |
HL-1000 |
HL-1200 |
HL-1400 |
HL-1500 |
HL-1600 |
|
Kích thước buồng |
600 × 800mm |
800 × 1000mm |
Φ1000 × 1200mm |
Φ1200 × 1400mm |
Φ1400 × 1600mm |
Φ1500 × 1500mm |
Φ1600 × 1800mm |
|
Đơn vị chân không |
Đơn vị bơm khuếch tán KT400 |
Đơn vị bơm khuếch tán KT500 |
Đơn vị bơm khuếch tán KT500 |
Đơn vị bơm khuếch tán KT630 |
Đơn vị bơm khuếch tán kt630 gấp đôi |
Đơn vị bơm khuếch tán kt630 gấp đôi |
Đơn vị bơm khuếch tán kt630 gấp đôi |
|
Hệ thống phủ |
Nguồn năng lượng lớp phủ đa arc chuyên dụng + mục tiêu vòng tròn đa chức năng đa chức năng + mục tiêu hồ quang hình trụ (tùy chọn) |
||||||
|
Hệ thống lớp phủ phụ trợ |
Nguồn hỗ trợ ion nhiệt độ thấp (không cần hệ thống sưởi ngoại trừ mạ công cụ) |
||||||
|
Hệ thống lạm phát |
Máy đo lưu lượng khối lượng |
||||||
|
Phương pháp kiểm soát |
Thủ công hoặc hoàn toàn tự động |
||||||
|
Tốc độ bơm |
5 × 10-3Pa 15 phút |
||||||
|
Nước chân không cuối cùng |
5x10-4pa |
||||||
|
Nhận xét |
Các tham số thiết bị trên chỉ để tham khảo và được thiết kế và tùy chỉnh theo yêu cầu quy trình thực tế của khách hàng. |
||||||
Chú phổ biến: Máy phủ đa năng, nhà sản xuất máy phủ đa năng Trung Quốc, nhà cung cấp, nhà máy
