
Máy phún xạ cuộn Magnetron-đến-cuộn máy phủ chân khôngđược sử dụng rộng rãi trong dải kim loại, bao bì, thiết bị điện tử linh hoạt,-chống hàng giả ba chiều, màng tụ điện và các lĩnh vực khác. Do đó, chúng tôi thường gọi các máy phủ chân không-đến-cuộn được sử dụng trong dải kim loại là máy phủ chân không cuộn-đến-cuộn, những máy được sử dụng trong bao bì như máy phủ chân không cuộn{6}}đến-cuộn đóng gói và những máy được sử dụng trong thiết bị điện tử linh hoạt như máy phủ cuộn điện tử linh hoạt-đến-cuộn, v.v. Các lĩnh vực ứng dụng khác nhau, do đó có tên khác nhau, nhưng công nghệ phủ thì tương tự nhau. Bây giờ, Puyuan Vacuum sẽ giới thiệu chi tiết các đặc điểm của máy phủ chân không cuộn -đến{13}}cuộn magnetron:
Lớp phủ phún xạ cuộn từ-đến-cuộn magnetron sử dụng phương pháp phún xạ từ (DC, IF, RF) để lắng đọng nhiều kim loại, hợp kim, hợp chất, gốm sứ và các vật liệu khác lên một chất nền linh hoạt cho lớp phủ-một lớp hoặc nhiều-lớp. So với thiết bị phủ cuộn -đến{6}}cuộn bay hơi, thiết bị phủ cuộn phún xạ magnetron-đến-cuộn có hiệu suất sản xuất thấp hơn và chi phí thiết bị cao hơn, điều này được xác định theo nguyên tắc phủ. Tuy nhiên, phương pháp phún xạ magnetron có những ưu điểm như nhiệt độ lớp phủ thấp, khả năng đặt nhiều mục tiêu tại các vị trí tùy ý để có lớp phủ nhiều lớp liên tục, nhiều loại vật liệu phủ có thể áp dụng, độ dày màng có thể kiểm soát, màng mịn và đồng nhất cũng như độ bám dính mạnh.
Lớp phủ phún xạ cuộn từ-đến-cuộn magnetron sử dụng phương pháp phún xạ từ (DC, IF, RF) để lắng đọng nhiều kim loại, hợp kim, hợp chất, gốm sứ và các vật liệu khác lên một chất nền linh hoạt cho lớp phủ-một lớp hoặc nhiều-lớp. So với thiết bị phủ cuộn -đến{6}}cuộn bay hơi, thiết bị phủ cuộn phún xạ magnetron-đến-cuộn có hiệu suất sản xuất thấp hơn và chi phí thiết bị cao hơn, điều này được xác định theo nguyên tắc phủ. Tuy nhiên, phương pháp phún xạ magnetron có những ưu điểm như nhiệt độ lớp phủ thấp, khả năng đặt nhiều mục tiêu tại các vị trí tùy ý để có lớp phủ nhiều lớp liên tục, nhiều loại vật liệu phủ có thể áp dụng, độ dày màng có thể kiểm soát, màng mịn và đồng nhất cũng như độ bám dính mạnh.
