1. Bề mặt buồng sẽ liên tục bị “viết lại”
Mọi quá trình PVD sẽ để lại dấu vết trong buồng.
Những dấu vết này chủ yếu đến từ:
Sự lắng đọng vật liệu phun ra từ mục tiêu, sự bám dính và tích tụ các sản phẩm phản ứng, sự bao phủ xen kẽ của nhiều vật liệu
Theo thời gian, thành trong của buồng không còn là kim loại ban đầu nữa mà là một lớp màng composite liên tục được chồng lên và phát triển.
Quan trọng hơn, màng này không "ổn định" và sẽ tiếp tục tham gia vào các quá trình tiếp theo, chẳng hạn như phún xạ lại, định vị lại và phản ứng lại.
Nói cách khác, bề mặt buồng đã trở thành một phần của quá trình sản xuất.
2. Môi trường khí cũng được “ghi nhớ”
Buồng này không chỉ có chức năng "làm màng phát triển" mà còn có chức năng "giữ không khí".
Hơi nước, oxy và khí thải còn sót lại sẽ tiếp tục được hấp phụ trên bề mặt buồng.
Trong các quy trình tiếp theo, những khí này có thể được giải phóng và-tái nhập vào plasma.
Đặc điểm của quá trình này là:
Không hoàn toàn có thể kiểm soát được. Liên quan chặt chẽ đến nhiệt độ, thời gian và trạng thái phóng điện. Sự khác biệt sẽ xảy ra trong các đợt hàng khác nhau.
Kết quả là:
Ngay cả khi tốc độ dòng khí được thiết lập ổn định thì bầu không khí thực sự tham gia vào phản ứng có thể khác nhau.
3. Đường Xả Dần “Khắc Phục”
Việc xả không ổn định ngay từ đầu; thay vào đó, nó dần dần hình thành một cấu trúc trong quá trình hoạt động{0}}lâu dài.
Khi quá trình này được lặp lại: Một số vùng dễ dàng duy trì dòng điện hơn; một số khác dần suy yếu; sự phân bố huyết tương có xu hướng hướng tới một “con đường quen thuộc”. Quá trình này về cơ bản là thiết lập một "cấu trúc ổn định".
Sau khi được hình thành, nó sẽ có tác động liên tục đến các quá trình tiếp theo.
4. Tại sao các vấn đề dễ xảy ra nhất khi thay đổi quy trình?
Khi một quy trình được chuyển đổi, “trạng thái ổn định” ban đầu bị phá vỡ: Vật liệu mới bao phủ lớp cặn cũ; hệ thống khí thay đổi; cấu trúc plasma phân phối lại. Tuy nhiên, những thay đổi này không diễn ra ngay lập tức mà là một quá trình chuyển tiếp.
Trong quá trình này: Hệ thống không ở "trạng thái cũ" cũng như không chuyển sang "trạng thái ổn định mới".
Như vậy, hiện tượng điển hình xảy ra: Một số đợt đầu có biến động đáng kể, sau đó dần dần ổn định.
5. Tại sao việc dọn dẹp lại đồng nghĩa với việc "đặt lại bộ nhớ"?
Chức năng của việc làm sạch không chỉ là loại bỏ bụi bẩn mà quan trọng hơn là:
Xóa tiền gửi
Phá vỡ cân bằng hấp phụ khí
Đặt lại đường dẫn xả
Từ góc độ hệ thống, nó tương đương với:
Xóa hoàn toàn các trạng thái tích lũy lâu dài.
Vì vậy sau khi làm sạch:
Trải nghiệm thủ công ban đầu không còn có thể áp dụng đầy đủ nữa và cần phải thiết lập lại sự cân bằng mới.
6. Một sự hiểu biết cơ bản hơn
Nếu tóm tắt hiện tượng này bằng một câu thì có thể hiểu như sau: Hệ thống PVD không phải là một "hệ thống đầu vào/đầu ra không có bộ nhớ", mà là một hệ thống động liên tục bị ảnh hưởng bởi lịch sử.
Các tham số chỉ là một phần của đầu vào, trong khi bản thân "trạng thái buồng" là một biến tiềm ẩn không ngừng phát triển.
7. Tóm tắt
Sự hình thành "bộ nhớ trạng thái" của buồng về cơ bản bắt nguồn từ ba quá trình-dài hạn chồng lên nhau: sự phát triển liên tục của lớp lắng đọng thành bên trong, chu kỳ hấp phụ và giải phóng khí liên tục cũng như sự đông đặc dần dần của đường phóng điện trong các quá trình lặp đi lặp lại. Những yếu tố này phối hợp với nhau để làm cho hệ thống thể hiện sự "phụ thuộc lịch sử" rõ ràng.
8. Kết luận quan trọng: Trạng thái phóng điện mà bạn nhìn thấy mỗi lần thực tế không phải là kết quả của các tham số hiện tại mà là sự chồng chất của các tham số hiện tại và trạng thái tích lũy trước đây.
