Hiện nay có nhiều phương pháp giám sát màng mỏng trong máy phủ chân không, chủ yếu bao gồm: giám sát trực quan, giám sát giá trị cố định (cực đoan), giám sát dao động tinh thể và giám sát thời gian. Bài viết này chủ yếu sẽ giới thiệu ba phương pháp: giám sát trực quan, giám sát giá trị cố định (cực đoan) và giám sát dao động tinh thể. Giám sát bằng hình ảnh hay còn gọi là giám sát trực tiếp, sử dụng mắt để theo dõi phim. Trong quá trình tăng trưởng màng, hiện tượng giao thoa gây ra sự thay đổi màu sắc và chúng tôi kiểm soát độ dày màng dựa trên những thay đổi màu sắc này. Phương pháp này có mức độ sai sót nhất định và độ chính xác không cao, đòi hỏi phải có kinh nghiệm.
Giám sát-giá trị cố định (giá trị-cực đoan): Điều này chủ yếu sử dụng giám sát quang phản xạ (truyền). Phương pháp giám sát giá trị-cực đoan: Khi độ dày màng tăng lên, hệ số phản xạ và độ truyền qua của nó cũng thay đổi tương ứng. Khi độ phản xạ hoặc độ truyền đạt đến điểm cực trị, độ dày quang học ND của lớp phủ có thể được xác định là bội số nguyên của một-một phần tư bước sóng giám sát (λ). Tuy nhiên, phương pháp giá trị cực trị-có sai số tương đối lớn do hệ số phản xạ hoặc độ truyền qua thay đổi rất chậm gần giá trị cực đại; nghĩa là R/T chỉ thay đổi sau khi độ dày màng ND tăng đáng kể. Vị trí nhạy cảm nhất là ở 1{9}}bước sóng. Phương pháp giám sát giá trị cố định: Phương pháp này tận dụng thực tế là điểm dừng của lớp phủ không bằng 1/4 bước sóng giám sát. Sau đó, máy tính tính toán độ phản xạ (hoặc độ truyền qua) của tổng độ dày màng ở bước sóng 1, đây là điểm dừng của lớp phủ. Giám sát dao động tinh thể: Nguyên lý hoạt động của dao động tinh thể dựa trên nguyên tắc tần số dao động của tinh thể thạch anh tỷ lệ nghịch với khối lượng của nó. Tuy nhiên, một nhược điểm của việc giám sát thạch anh là khi độ dày màng tăng đến một mức nhất định, tần số rung không hoàn toàn liên quan tuyến tính với độ dày do đặc tính của chính thạch anh. Trong trường hợp này, phải sử dụng bộ tạo dao động thạch anh mới.
Một số phương pháp giám sát, mỗi phương pháp đều có ưu điểm và nhược điểm, nhưng đối với lớp phủ nhiều{0}}lớp, giám sát quang học thường là phương pháp chính, được bổ sung bằng dao động tinh thể thạch anh. Ngoài ra, đối với một số quy trình yêu cầu phun khí trong quá trình phủ, cần có đồng hồ đo lưu lượng hoặc đồng hồ đo áp suất, đòi hỏi phải có van chính xác và hệ thống cảm biến quang điện để điều khiển. Máy phủ chân không cũng yêu cầu hệ thống điều khiển quay, trong đó trục chính của ô được đặt bên trong ổ trục và một động cơ dẫn động ổ trục để quay ô. Tốc độ quay sau đó được điều khiển bởi PLC. Vòng quay của nồi nấu kim loại được điều khiển bởi một động cơ và sử dụng tính năng cảm ứng quang điện, trong khi tấm chắn quay bằng công tắc khí nén. Để tăng tốc độ bơm và đạt được mức chân không nhất định, buồng chân không cần được làm mát, đóng băng không khí bên trong đến -130 độ C, đồng thời đóng băng và loại bỏ mọi hơi nước. Phần điều khiển điện chủ yếu sử dụng điều khiển tự động PLC. Chương trình được thiết kế sẵn trước tiên được đưa vào PLC và mạch chính của bộ xử lý được kết nối với từng hệ thống không tải trên bảng điều khiển. Khi nhấn công tắc trên bảng điều khiển, thông tin sẽ được truyền đến bộ xử lý trung tâm, sau đó hệ thống điều khiển trung tâm sẽ phân tích và đưa ra hướng dẫn cho các mạch nhánh để thực hiện và hoàn thành hành động.
Máy phủ chân không là thiết bị tích hợp nhiều lĩnh vực. Chúng kết hợp các công nghệ cơ điện tiên tiến nhất, công nghệ điều khiển, tự động hóa điện, công nghệ CNTT, công nghệ làm lạnh, hệ thống tích hợp vi mạch, hệ thống điều khiển điện áp cao-, công nghệ cơ khí, công nghệ xử lý, công nghệ quang điện tử, công nghệ quang học, công nghệ điều khiển khí nén, công nghệ cảm biến quang điện tử, công nghệ truyền thông, công nghệ chân không,-công nghệ lớp phủ và quang học màng mỏng, v.v. Máy phủ chân không có thể được coi là đại diện của các ngành công nghiệp mới nổi. Ngày nay, máy phủ chân không được sử dụng rộng rãi, đặc biệt là trong sản xuất màng mỏng. Các màng mỏng khác nhau được sản xuất được sử dụng trong các hệ thống quang điện tử và dụng cụ quang học khác nhau, như máy ảnh kỹ thuật số, máy quay kỹ thuật số, kính thiên văn, máy chiếu, điều khiển năng lượng, truyền thông quang học, công nghệ hiển thị, giao thoa kế, vệ tinh nhân tạo và tên lửa, laser bán dẫn, hệ thống vi cơ điện tử, công nghiệp thông tin, sản xuất laser, các bộ lọc khác nhau, công nghiệp chiếu sáng, cảm biến, kính kiến trúc, công nghiệp ô tô, đồ trang trí, tiền xu, thấu kính mắt kính, v.v. Máy phủ đã trở nên tích hợp chặt chẽ vào cuộc sống con người.
