Một. Thường xuyên thay dầu bơm khuếch tán.
Dầu bơm khuếch tán được sử dụng trong khoảng thời gian khoảng hai tháng (hai ca). Do môi trường có nhiệt độ-cao{2}}cao trong thời gian dài, ngay cả khi bơm khuếch tán chỉ được kích hoạt ở độ chân không cao, oxy dư và các thành phần khác có thể phản ứng với dầu bơm khuếch tán. Nhiệt độ cao này cũng có thể khiến dầu bơm khuếch tán bị phân hủy, giảm chất lượng và kéo dài thời gian bơm. Nếu xét thấy thời gian bơm kéo dài quá mức thì nên thay thế.
Hai. Bơm chân không
Dầu bơm cơ khí và dầu bơm bảo trì sẽ có những thay đổi về chất lượng sau hai tháng sử dụng. Điều này có thể xảy ra do sự kết hợp của độ ẩm, tạp chất và các yếu tố khác, có thể làm cho độ nhớt của dầu giảm đi và độ chân không giảm xuống, cần phải thay thế. Đối với thiết bị mới, việc thay thế phải được thực hiện trong vòng hai tuần đầu tiên sử dụng. Trong thời gian tạm nghỉ-, dầu có chứa nồng độ bụi sắt cao, có thể làm tăng độ mài mòn.
Ba. Sạch sẽ và vệ sinh
Thường xuyên giữ gìn vệ sinh thiết bị và môi trường xung quanh, giữ sạch sẽ bên trong và bên ngoài thiết bị và khu vực xung quanh được sắp xếp ngăn nắp để tạo môi trường làm việc tốt và đảm bảo an toàn.
Bốn. Làm sạch mộtMáy phủ chân không quang học
Sau một tuần hoạt động, vật liệu phủ sẽ không chỉ phủ lên bề mặt phôi mà còn cả lớp lót bên trong buồng do lớp phủ không-định hướng của nó. Lớp phủ sẽ dần trở nên dày hơn.
Lớp màng này do cấu trúc lỏng lẻo và vướng víu nên hấp thụ một lượng lớn khí khiến thiết bị phủ chân không bơm không khí chậm hơn. Tại thời điểm này, buồng và lớp lót phải được làm sạch. Những bộ phận tháo rời không cần thiết có thể được chà nhám sạch sẽ.
Lớp lót có thể được ngâm trong dung dịch axit hydrofluoric. Tỷ lệ axit hydrofluoric với nước phải được xác định dựa trên thời gian ngâm cần thiết và tác dụng mong muốn đối với lớp lót. Lớp lót phải được làm khô trước khi lắp đặt.
Trước khi sấy, lau lớp lót càng khô càng tốt. Sau khi làm sạch khung làm việc và các bộ phận khác bằng giấy nhám, loại bỏ hết bụi khỏi buồng chân không. Điều này có thể được thực hiện với máy hút bụi.
Cuối cùng, khi lắp lớp lót, cả buồng chân không và lớp lót phải được làm sạch bằng khăn lau có-có cồn. Việc sử dụng súng điện tử và nguồn ion để hỗ trợ lớp phủ có thể gây khó khăn cho việc vệ sinh; có thể sử dụng phun cát hoặc các phương pháp làm sạch khác.
