Các bước vận hành của máy phủ quang học liên quan đến nhiều liên kết. Sau đây là các bước vận hành chi tiết:
1. Chuẩn bị sơ bộ
Kiểm tra trạng thái máy:
Kiểm tra xem máy phủ quang học có trong điều kiện làm việc bình thường hay không, bao gồm cả việc cung cấp năng lượng, nguồn khí, hệ thống làm mát, v.v. có bình thường hay không.
Hủy bỏ các mảnh vỡ bên trong và xung quanh máy, đặc biệt là dư lượng vật liệu bay hơi, để đảm bảo môi trường làm việc sạch sẽ.
Chuẩn bị vật chất:
Chọn ống kính quang chất lượng cao hoặc các vật liệu khác cần được phủ.
Chuẩn bị các vật liệu bay hơi, chẳng hạn như mục tiêu kim loại, để đảm bảo rằng độ tinh khiết và chất lượng của các vật liệu đáp ứng các yêu cầu.
Chuẩn bị thiết bị:
Chuẩn bị các thiết bị phủ cần thiết như đồng hồ đo độ dày màng chân không, bơm chân không và nguồn ion.
Kiểm tra xem thiết bị có còn nguyên vẹn để đảm bảo rằng nó có thể hoạt động bình thường hay không.
Chuẩn bị môi trường:
Đảm bảo rằng buồng phủ được đóng chặt và không có rò rỉ không khí.
Chuẩn bị các dụng cụ làm sạch như làm sạch chất lỏng và nước khử ion, cũng như mài, khử nhiễm và các công cụ khác.
2. Tiền xử lý lớp phủ
Đánh bóng:
Đánh bóng tinh vi ống kính quang học để loại bỏ các trầm cảm và tạp chất nhỏ trên bề mặt.
Làm sạch:
Sử dụng chất lỏng làm sạch đặc biệt và thiết bị làm sạch siêu âm để làm sạch ống kính quang học để đảm bảo bề mặt sạch.
Sau khi làm sạch, rửa sạch bằng nước khử ion để loại bỏ chất lỏng làm sạch còn lại.
Làm nóng chân không:
Đặt ống kính được làm sạch vào buồng chân không và làm nóng ống kính bằng cách sưởi ấm điện.
Khí hấp phụ trên bề mặt được làm bay hơi và được bơm đi để đảm bảo độ sạch của môi trường phủ.
3. Hoạt động lớp phủ
Đặt tham số quy trình:
Theo các yêu cầu của lớp phủ, đặt các tham số quy trình thích hợp như nhiệt độ bay hơi, tốc độ bay hơi, độ chân không, v.v.
Quá trình bay hơi:
Thêm vật liệu bay hơi vào nguồn bay hơi, chẳng hạn như dây tóc vonfram.
Bật nguồn bay hơi, thực hiện quá trình bay hơi và giải phóng các nguyên tử hoạt động.
Lắng đọng phim:
Sử dụng các nguồn năng lượng như nguồn ion hoặc dầm electron trong buồng chân không để lắng đọng các nguyên tử hoặc phân tử bay hơi trên bề mặt của ống kính.
Trong quá trình lắng đọng, thước đo độ dày màng chân không được sử dụng để theo dõi độ dày của màng trong thời gian thực để đảm bảo rằng các yêu cầu được xác định trước được đáp ứng.
Hệ thống sưởi phụ trợ:
Trong quá trình lắng đọng, có thể cần sử dụng công nghệ sưởi ấm phụ để làm nóng bề mặt cơ chất đến nhiệt độ tự do của lớp màng, có lợi cho sự ngưng tụ và hóa rắn của lớp màng.
4. Điều trị sau khi phủ
Làm mát:
Khi quá trình phủ hoàn thành, hãy tắt các nguồn năng lượng như nguồn bay hơi và nguồn ion.
Cho phép buồng chân không làm mát tự nhiên đến nhiệt độ phòng, hoặc sử dụng làm mát buộc phải tăng tốc quá trình làm mát.
Lấy phôi ra:
Sau khi áp suất không khí trong buồng chân không trở lại áp suất bình thường, hãy mở cửa buồng chân không và lấy ống kính phủ ra.
Làm sạch và kiểm tra:
Làm sạch ống kính phủ để loại bỏ các tạp chất có thể vẫn còn trên bề mặt.
Kiểm tra chất lượng lớp phủ, bao gồm cả độ dày phim, tính đồng nhất, hiệu suất quang học, vv đáp ứng các yêu cầu.
5. Bảo trì và chăm sóc
Làm sạch buồng phản ứng:
Thường xuyên làm sạch phần bên trong của buồng phản ứng và các thành phần như tấm sưởi để loại bỏ vật liệu bay hơi và tạp chất còn lại.
Thay thế các bộ phận:
Theo việc sử dụng thiết bị, thường xuyên thay thế các bộ phận bằng hao mòn nghiêm trọng, chẳng hạn như nguồn bay hơi, nguồn ion, v.v.
BẢO TRÌ:
Thực hiện bảo trì toàn diện trên thiết bị, bao gồm kiểm tra xem nguồn điện, nguồn khí, hệ thống làm mát, vv có hoạt động tốt không.
Hiệu chỉnh và gỡ lỗi thiết bị thường xuyên để đảm bảo độ chính xác và độ ổn định của lớp phủ.
Trên đây là các bước vận hành cơ bản của máy phủ quang. Máy phủ quang học của các mô hình và thông số kỹ thuật khác nhau có thể có các hoạt động cụ thể khác nhau. Do đó, trong quá trình vận hành thực tế, hướng dẫn sử dụng thiết bị phải được tuân thủ nghiêm ngặt và các quy định an toàn và quy trình vận hành có liên quan nên được tuân thủ.
