Sự bay hơi bằng chùm tia điện tử là đặt vật liệu màng vào nồi nấu đồng-làm mát bằng nước và sử dụng trực tiếp quá trình gia nhiệt bằng chùm tia điện tử để làm cho các nguyên tử hoặc phân tử trong vật liệu màng bay hơi và thoát ra khỏi bề mặt, sau đó đi vào bề mặt chất nền và ngưng tụ thành màng.
Sự bay hơi của chùm tia điện tử có hiệu suất nhiệt cao hơn, mật độ dòng tia cao hơn, tốc độ bay hơi nhanh hơn và độ tinh khiết của màng cao hơn so với sự bay hơi do nhiệt điện trở nói chung.
Ứng dụng:
Máy phủ quang học có thể phủ nhiều hệ thống màng khác nhau với số lượng lớn các lớp, chẳng hạn như truyền sóng ngắn, truyền sóng dài,-sóng dài, phim chống phản xạ, phim phản chiếu, phim lọc, phim quang phổ, phim thông dải, phim điện môi, phim phản chiếu-cao, phim phản chiếu màu, v.v.
Nó có thể đạt được lớp phủ màng từ 0-50 lớp màng và cũng có thể đáp ứng các yêu cầu về lớp phủ của các sản phẩm như kính phản quang ô tô, kính mắt, ống kính quang học, cốc đèn lạnh, v.v.
Nó có thể phủ lên nhiều hệ thống màng khác nhau bằng các nguồn bay hơi, súng điện tử, nguồn ion và máy đo độ dày màng khác nhau, đồng thời có thể làm bay hơi kim loại, oxit, hợp chất và các vật liệu màng-có điểm nóng chảy{1}}cao khác.
Đặc trưng:
Máy phủ quang học được trang bị máy đo độ dày màng tinh thể thạch anh, PLC và hệ thống màn hình cảm ứng được kết hợp để thực hiện điều khiển tự động toàn bộ quá trình làm việc, mang lại hiệu quả công việc tuyệt vời và độ lặp lại chất lượng sản phẩm.
Thích hợp để các nhà sản xuất sử dụng trong lĩnh vực quang học và các yêu cầu-sản xuất công nghiệp quy mô lớn.
Đặc điểm kỹ thuật:
| Máy phủ quang học | |||||||
|
Người mẫu |
SF-800 |
SF-1200 |
SF-1400 |
SF-1600 |
SFW-1000 |
SFW-1200 |
SFW-1600 |
|
Kích thước buồng |
Φ800×1000MM |
Φ1200×1400MM |
Φ1400×1600MM |
Φ1600×1800MM |
Φ1000×1100MM |
Φ1200×1400MM |
Φ1600×1800MM |
|
Đơn vị chân không |
Bộ bơm khuếch tán KT500 |
Bộ bơm khuếch tán KT630 |
Bộ bơm khuếch tán đôi KT630 |
Bộ bơm khuếch tán đôi KT630 |
Bộ bơm khuếch tán KT500 |
Bộ bơm khuếch tán KT630 |
Bộ bơm khuếch tán đôi KT630 |
|
Hệ thống sơn |
Nguồn bay hơi súng điện tử, nguồn cung cấp năng lượng chuyên dụng ion phụ trợ lớp phủ hoặc nguồn ion Hall |
||||||
|
Hệ thống lạm phát |
Bộ điều khiển áp suất |
||||||
|
Phương pháp điều khiển |
Thủ công hoặc hoàn toàn tự động |
||||||
|
Hệ thống giám sát độ dày màng |
Hệ thống giám sát độ dày màng tinh thể thạch anh |
||||||
|
Tốc độ bơm |
5×10-3Pa﹤15 phút |
||||||
|
chân không cuối cùng |
3.0X10-4Pa |
||||||
|
Nhận xét |
Các thông số thiết bị trên chỉ mang tính tham khảo và được thiết kế và tùy chỉnh theo yêu cầu quy trình thực tế của khách hàng. |
||||||
Chú phổ biến: nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy phủ quang e-dùm tia, Trung Quốc
